HCMP 手動探針臺

微型真空探針臺是一款專門用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺，主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)表征和測量，還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行電學(xué)測量評估，是實(shí)驗(yàn)室測量薄膜材料電學(xué)材料常用工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領(lǐng)域。

功能特點(diǎn)

1、無人機(jī)外觀設(shè)計開發(fā)，讓低溫探針臺小巧精密；

2、XYZ三維移動平臺的開發(fā)，位移分辨率10um以下；

3、電聲制冷機(jī)制冷加熱一體化平臺應(yīng)用開發(fā)；

4、液氮制冷加熱一體化平臺應(yīng)用開發(fā)；

5、利用機(jī)械彈性設(shè)計，低溫環(huán)境下也有彈性，避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜；

6、實(shí)現(xiàn)-160℃~450℃的制冷和加熱測量環(huán)境，控溫精度達(dá)到±0.5℃；

7、采用1000X放大鏡顯微鏡設(shè)計，有利于實(shí)時觀察樣品的測量狀態(tài)；

8、廣泛用于復(fù)雜、高速器件的精密電器測量，可靠性高；

9、高低溫平臺、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得簡單；

10、可以通過USB傳輸數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)格式為Excel格式。

應(yīng)用場景：晶圓芯片高低溫測試

測試類型：IV/CV/RF

樣品臺：4英寸

溫度范圍：77K-673K

真空度：10E-4Pa

顯微鏡類型：單筒、體視、金相顯微鏡

探針臂數(shù)量：2-6個

探針臂移動：50mm*50mm*50mm

測試接口：BNC三同軸

測試精度：100fA

可搭配儀器：源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、示波器等

華測測試儀器  HCMP手動探針臺

華測測試儀器  HCMP手動探針臺